CVD装置用 乾式排ガス処理装置 ジョイクリーン
◆CVD装置より排出されるSiO2パウダ等の反応生成物を完全にトラップするフィルタユニットとSiH4、TEOS等の有毒ガスをTLV値以下に完全除害する触媒ユニットで構成されています。
●連続稼働仕様(CVD装置の稼働を停止することなくメンテナンス可能)
●新型パンチング方式の完全自動再生機構フィルタユニット
●ワンタッチジョイントのカートリッジ式各ユニット
●バイパスライン、瞬停再始動ユニット、インターロック回路標準装備
●新型ロータバルブ搭載( 各ユニット切り替え時のCVD装置排気圧力の一定化)
●非常に安価なランニングコスト
●大風量型処理CVD装置にも容易に対応
乾式排ガス処理装置のメリット
■ 処理対象ガス
SiH4、PH3、B2H6、AsH3、HCl、NH3、TEOS、O3、TMOP、TEB 等
■ 処理対象粉体
SiO2パウダ等粒子径0.3μm以上の粉体
JC-100AF |
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仕様 | 非連続稼働仕様 | |
電源 50Hz/60Hz | 3相200V / 3相200V・220V | |
最大消費電力 | 3kVA | |
最大処理流量 | 1000L/min | |
吸引圧力設定範囲 | 0~1.0kPa | |
JC-300AF-S |
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仕様 | 連続稼働仕様 | |
電源 50Hz/60Hz | 3相200V / 3相200V・220V | |
最大消費電力 | 6kVA | |
最大処理流量 | 3000L/min | |
吸引圧力設定範囲 | 0~1.0kPa | |
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JC-450AF-S |
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仕様 | 連続稼働仕様 | |
電源 50Hz/60Hz | 3相200V / 3相200V・220V | |
最大消費電力 | 11kVA | |
最大処理流量 | 4500L/min | |
吸引圧力設定範囲 | 0~1.0kPa | |
● CVD装置内部や接続配管に付着、堆積したSiO2パウダ等の粉体を強力に吸引除去するクリーンルーム用クリーナです。
強力タイプ吸引ブロワ、再生機構搭載フィルタ、大容量パウダ回収タンク等が標準装備されています。
JC-50F-RB |
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吸引対象物 | ドライ粉体 | |
電源 50Hz/60Hz | 単相100V | |
最大消費電力 | 1050W | |
吸入仕事率 | 115~385W | |
真空度 | 2.5~23kPa | |
吸入風量 | 0.15~2.7㎥/min | |
電源コード | 10m 3Pプラグ付 | |
回収タンク容量 | 80L | |
フィルタ再生電動機容量 | 25W | |
ホース | 25W5m Φ38またはΦ50 | |
運転時の騒音 | 50~70dB | |
装置概算質量 | 90㎏ | |
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