CVD装置用乾式除害装置

CVD装置用 乾式排ガス処理装置

 

 

◆連続稼働でき、CVD装置の稼働を停止することなくメンテナンスできます。

 

 

非常に安価なランニングコストです。

 

白金触媒酸化式脱臭装置概要

保証期間1年

  • 連続稼働仕様(CVD装置の稼働を停止することなくメンテナンス可能)
  • 新型パンチング方式の完全自動再生機構フィルタユニット
  • ワンタッチジョイントのカートリッジ式各ユニット
  • バイパスライン、瞬停再始動ユニット、インターロック回路標準装備
  • 新型ロータバルブ搭載( 各ユニット切り替え時のCVD装置排気圧力の一定化)
  • 非常に安価なランニングコスト
  • 大風量型処理CVD装置にも容易に対応

 

型式ラインナップ

標準仕様一覧表

JC-100AF

仕様 非連続稼働仕様
電源 50Hz/60Hz 3相200V
最大消費電力 3kVA
最大処理流量 1000L/min
吸引圧力設定範囲 0~1.0kPa
JC-100AF

JC-300AF-S

仕様 連続稼働仕様
電源 50Hz/60Hz 3相200V
最大消費電力 6kVA
最大処理流量 3000L/min
吸引圧力設定範囲 0~1.0kPa
CVD除外装置 JC-300AF-S

JC-450AF-S

仕様 連続稼働仕様
電源 50Hz/60Hz 3相200V
最大消費電力 11kVA
最大処理流量 4500L/min
吸引圧力設定範囲 0~1.0kPa
JC-450AF-S