CVD装置用 乾式排ガス処理装置
◆連続稼働でき、CVD装置の稼働を停止することなくメンテナンスできます。
◆非常に安価なランニングコストです。
JC-100AF |
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仕様 | 非連続稼働仕様 |
電源 50Hz/60Hz | 3相200V |
最大消費電力 | 3kVA |
最大処理流量 | 1000L/min |
吸引圧力設定範囲 | 0~1.0kPa |
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JC-300AF-S |
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仕様 | 連続稼働仕様 | |
電源 50Hz/60Hz | 3相200V | |
最大消費電力 | 6kVA | |
最大処理流量 | 3000L/min | |
吸引圧力設定範囲 | 0~1.0kPa | |
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JC-450AF-S |
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仕様 | 連続稼働仕様 | |
電源 50Hz/60Hz | 3相200V | |
最大消費電力 | 11kVA | |
最大処理流量 | 4500L/min | |
吸引圧力設定範囲 | 0~1.0kPa | |
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